1、深孔內及部品空氣能被吸（xī）出（chū），清洗液能容易流入，清洗能力大幅提高。
2、清洗液中的氣體被脫出後，超聲波效果更好。                         
3、清（qīng）洗液（yè）可以被（bèi）加熱到引火點以上，對汙垢的溶解（jiě）力（lì）倍增。                         
4、在清洗中利用（yòng）高（gāo）溫液體給清洗部品提供均一、必要的熱量為後（hòu）麵幹燥工序。                         
5、在真空中溶液沸點下（xià）降蒸發速度（dù）加快，因迅速形成高（gāo）真（zhēn）空，覆著在物體上的溶劑一舉揮發。