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產(chǎn)品類別:精(jīng)密(mì)半(bàn)導體清洗設備
全國谘詢服務熱線:0755-28833313 0755-28070333 0755-28070666
產品功能:
◆采用一套多臂(bì)氣動(dòng)機械手傳動,定(dìng)位精準,效率高。
◆人機界麵,PLC程序(xù)控製,觸摸屏操作。
◆水係(xì)型清(qīng)洗劑(jì)、DI水、IPA清洗幹燥。
◆間接式導熱油加(jiā)熱方式,全自動IPA檢測、滅火裝置(zhì)。
◆機(jī)架及全封閉外罩(zhào)HEPA高效空(kōng)氣(qì)過濾器,防止二(èr)次汙染(rǎn)。
◆采用多種清洗頻率清洗設備:40KHz、80KHz、100KHz、120KHz。
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